XRF分析儀由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。
XRF分析儀的優(yōu)劣勢分析如下：
XRF分析儀優(yōu)勢:
分析速度快。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態(tài)無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態(tài)也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。
非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復多次測量，結果重現(xiàn)性好。
X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
分析精密度高。
制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
XRF分析儀劣勢：
難于作分析，故定量分析需要標樣。
對輕元素檢測的靈敏度要低一些。c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。
